進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室大樓之前，記者被要求“全副武裝”地穿上工作服、帽子、鞋套和口罩。“你這還只是在走廊上參觀，如果進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部，全身上下一點(diǎn)都不能露出來。任何細(xì)小的灰塵都會影響芯片制造的精準(zhǔn)度。在這里，一立方米的空間里，1/30頭發(fā)絲粗細(xì)的顆粒物不超過10個(gè)。”柏松帶著記者參觀時(shí)介紹，僅這數(shù)千平方米的實(shí)驗(yàn)室，里面的設(shè)備就價(jià)值10多億元。比如光刻機(jī)，專門負(fù)責(zé)把專家們設(shè)計(jì)好的高速公路建造在芯片表面。而一臺光刻機(jī)的價(jià)格就高達(dá)數(shù)千萬元。

“所有電能的傳輸都依靠電子在芯片中的跑動。我們就是要在這個(gè)薄薄的芯片上造高速公路，既要路線設(shè)計(jì)科學(xué)，又要路面光滑平整，讓電子該走的路快速通過，不該走的路一點(diǎn)都不能通過。”柏松向記者展示了手指甲蓋大小的芯片。在這個(gè)不到一毫米厚的芯片上設(shè)計(jì)電子奔跑路線，可是個(gè)功夫活，涉及到數(shù)百個(gè)參數(shù)和工序。柏松研究怎么設(shè)計(jì)這個(gè)高速公路已經(jīng)有20多年了，從零基礎(chǔ)起步，如今，他領(lǐng)銜的這個(gè)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)成為該領(lǐng)域的國內(nèi)領(lǐng)跑者，建立了自主知識產(chǎn)權(quán)的理論和關(guān)鍵工藝技術(shù)能力。

更近，實(shí)驗(yàn)室正和國家電網(wǎng)、中車集團(tuán)等單位合作，將更新研發(fā)的芯片試點(diǎn)應(yīng)用。未來實(shí)驗(yàn)室將建成世界一流的高端人才聚集地和世界級科研成果孵化平臺，讓我國新能源產(chǎn)品早日走向世界。

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